

ジンバルとは異なる対象物の面だしを行う装置です。
倣い角度は±2°で倣い半径および、搭載荷重はお客様のニーズに応じて設計・製造致します。
※適用範囲がございますので、お問合せ下さい。
大手半導体メーカー様に多数の導入実績がございます。他社製品では安定的なアライメントが不可能であった設備にも本製品は採用実績がございます。

高精度倣い機構を有するステージです。ロードセルを搭載すれば、加圧する機構に荷重をフィードバック可能です。また、アライメント後のステージ角度を固定するブレーキ機構も標準搭載しております。
用途に応じてスタンダード以外にも色々と対応可能で御座います。